英國牛津 等離子設(shè)備 - Plasmalab System100系列產(chǎn)品
Plasmalab System100是當(dāng)今世界上半導(dǎo)體光電子行業(yè)的主流機(jī)型,預(yù)真空鎖(Load Lock)的配置使我們客戶的產(chǎn)品質(zhì)量得到了很大的提高。
該設(shè)備同樣為模塊化設(shè)計,可以根據(jù)客戶的需要配置成ICP模式、PECVD模式和多真空腔模式,同時載片量也可以根據(jù)需求從一次處理單片2"直到一次處理7片2"。
Plasmalab System100系列 - 多真空腔系統(tǒng)配置產(chǎn)品介紹
模塊化設(shè)計的Plasmalab System100系統(tǒng),同時也可以配置成片盒到片盒(Cassette to Cassette)的多真空腔機(jī)型,從而可實現(xiàn)真正意義上的大規(guī)模生產(chǎn)。
System100多真空腔
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