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TY10MCV質(zhì)量流量控制器ZX21

TY10

MCV質(zhì)量流量控制器MCV質(zhì)量流量控制器

ZX21
MCV質(zhì)量流量控制器MCV質(zhì)量流量控制器
訂 貨 號：ZY289979 品    牌：Alicat 產(chǎn)    地：美國 市 場 價： 折 扣 價： 發(fā)貨周期：現(xiàn)貨或5天內(nèi)
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產(chǎn)品描述技術(shù)方案相關(guān)儀器最新上架商品咨詢使用評價
MCV質(zhì)量流量控制器是根據(jù)真空涂層和噴濺過程中所要求快速關(guān)閉功能而設(shè)計的。一個啟動截止閥是常閉的，并且保證一個大氣壓下氦氣最大泄露為1 x 10-9下有效的關(guān)閉。
    MCV質(zhì)量流量控制器采用的是與其他alicat產(chǎn)品一樣的層流差壓式專利技術(shù)。在速度和精度需要計算時，MCV所體現(xiàn)的完美的精度和響應(yīng)時間。
    Alicat 的MCV可以在響應(yīng)時間為50-100ms的條件下控制從0.5sccm的小流量到20slpm的大流量-響應(yīng)時間可以大大的改良你的最終產(chǎn)品，并且?guī)椭懦`差。
    每個MCV都是預(yù)先設(shè)定的30種校準氣體和顯示質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度。Alicat的MCV也可以直接通過設(shè)備的按鍵或者RS-232來編程設(shè)定，使用RS-232可以通過一對線串聯(lián)最多26臺設(shè)備。
    MCV供電電壓為12-30Vdc，單一輸入和輸出暴漏0-5Vdc。0-10Vdc、4-20mA和RS-232（可選PROFIBUS）
特點和優(yōu)點
響應(yīng)時間50-100ms
量程 0.5sccm-20slpm
模擬和數(shù)字通信（可選PROFIBUS）
30種預(yù)設(shè)定校準氣體
精度±0.8% 的讀數(shù)±0.2% 滿刻度
可選高精度±0.4% 的讀數(shù)±0.2% 滿刻度
操作量程1%-100%
數(shù)字顯示質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度
無預(yù)熱時間
小巧設(shè)計，方便替換其他設(shè)備
保證標準大氣壓下氦氣最大泄露1 x 10-9的氣動截止閥
終身維修
MCV質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)
性能
MCV質(zhì)量流量控制器
描述
精度
±0.8% 的讀數(shù)±0.2% 滿刻度
在沒有流量條件下校準
高精度選項
±0.4% 的讀數(shù)±0.2% 滿刻度
在沒有流量條件下校準
重復(fù)性
±0.2%
滿量程
操作量程
1%-100%的滿量程
測量和控制
響應(yīng)時間
100
毫秒（可調(diào)）
標準狀態(tài)（STP）
25°&14.696PSIA
僅測量質(zhì)量流量用
操作溫度
-10～50
℃
零點漂移
0.02％
滿量程/℃/Atm
量程漂移
0.02％
滿量程/℃/Atm
濕度范圍
0-100%
無冷凝
控制流量范圍
102.4%
滿量程
最大耐壓
145
PSIG
輸入/輸出數(shù)字信號
質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度
RS-232或PROFIBUS
輸入/輸出模擬信號
質(zhì)量流量
0-5VDC
可選輸入/輸出
第二路模擬
質(zhì)量流量、體積流量、絕壓或溫度
0-5VDC,0-10VD或4-20mA
電氣連接
8針或者DB-15
 
供電電壓：質(zhì)量流量計
12-30Vdc（15-30Vdc或者4-20mA輸出）
 
供電電流：質(zhì)量流量計
0.300Amp
 
安裝位置敏感度
無
 
預(yù)熱時間
＜1
秒
閥泄漏率
1 x 10-9標準大氣壓sccm/s 氦氣最大
 
接液材質(zhì)
316L不銹鋼；FFKM(Kalrez)標準； Viton®；EDPM；Buna一些氣體所需的氯丁橡膠；質(zhì)量流量控制器還附加303不銹鋼，430不銹鋼
1、  高精度選項不包括量程低于5sccm
2、  如果選擇PROFIBUS通信，則沒有模擬信號可選。PROFIBUS的設(shè)備不帶顯示，看PROFIBUS性能所需的供電電壓和電流
3、  如您需要特殊材質(zhì)，請聯(lián)系A(chǔ)licat公司咨詢
 
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MCV質(zhì)量流量控制器

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6.閣下對TY10MCV質(zhì)量流量控制器使用方法等有需求時，將為閣下找到MCV質(zhì)量流量控制器說明書.
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