流量范圍(滿量程) |
|
+200SLPM |
| |
|
最小值 |
典型值 |
最大值 |
單位 |
供電電壓(>1) |
9.990 |
10.000 |
10.010 |
VDC |
供電電壓 |
8.000 |
10.000 |
15.000 |
VDC |
功率損耗 |
|
|
60 |
mw |
輸出負(fù)載 |
沉電路 |
10 |
mA |
|
源電路 |
20 |
mA |
標(biāo)定氣體 |
|
空氣 |
|
線性誤差 |
|
+/-0.3 |
%讀數(shù) |
反應(yīng)時(shí)間 |
|
6 |
ms |
操作溫度 |
|
-25?~85?C |
|
儲(chǔ)藏溫度 |
|
-40?~90?C |
|
重復(fù)性和磁帶 |
|
+/-0.5 |
%讀數(shù) |
流量(>SLPM) |
典型值(>VDC) |
公差(>VDC) |
壓降>(英寸水柱>) |
0 |
1.00 |
0.05 |
0 |
25 |
2.99 |
- |
0.04 |
50 |
3.82 |
0.18 |
0.13 |
75 |
4.30 |
h="">- |
0.21 |
100 |
4.58 |
- |
0.34 |
150 |
4.86 |
- |
0.65 |
200 |
5.00 |
0.36 |
1.09 |