產(chǎn)品規(guī)格 |
MC(質(zhì)量流量控制器) |
VC(體積流量控制器) |
測(cè)量單位 |
量程范圍 |
0.5,1,2,5,10,20,50,100,200,500,800 |
(S)CCM | |
1,2,3,5,10,20,50,100,250,500,1000 |
(S)LPM | ||
精度等級(jí) |
±1%或(選項(xiàng)±0.5%) |
±1%或(選項(xiàng)±0.5%) |
滿量程 |
重復(fù)性 |
±0.5% |
±0.5% |
滿量程 |
量程比 |
100:1 |
100;1 |
|
響應(yīng)時(shí)間 |
100 |
100 |
毫秒 |
壓降大小 |
— |
— |
請(qǐng)和廠家協(xié)商 |
操作溫度 |
-10~+50 |
-10~+50 |
℃ |
零點(diǎn)漂移 |
0.02%/ATM |
0.2% |
滿量程/℃ |
范圍漂移 |
0.02%/ATM |
0.2% |
滿量程/℃ |
濕度量程 |
0-100% |
0-100% |
無(wú)冷凝 |
過(guò)流率 |
2.4% |
2.4% |
滿量程 |
最大耐壓 |
125 |
125 |
PSIG |
供應(yīng)電流 |
0.25 當(dāng)流量≤20(S)LPM時(shí) 1 當(dāng)流量≥50(S)LPM時(shí)30 |
安培 | |
電壓電源 |
12-25V 當(dāng)流量≤20(S)LPM時(shí) 24-30V 當(dāng)流量≥50(S)LPM時(shí)7-39 |
| |
輸入/輸出 |
0-5VDC,0-10VDC,4-20mA,RS-232 |
VDC | |
電氣連接 |
8針接頭或可選的工業(yè)連接接口 |
小型圓插頭DIN | |
機(jī)械連接 |
1/8″接口:流量≤20(S)LPM
閥門(mén)側(cè)1/2″接口,流量計(jì)側(cè)1/4″接口:當(dāng)流量為50(S)LPM和100(S)LPM時(shí)
1/2″接口:當(dāng)流量為250~1000(S)LPM
1″接口:當(dāng)流量>1000(S)LPM |
NPTF | |
接液部件 |
303和302不銹鋼,Viton ,RTV硅樹(shù)脂,玻璃纖維增強(qiáng)尼龍,陽(yáng)極氧化鋁,
410和304不銹鋼,鎳,銅,Delrin ,Loctite 附加326,401,609 |