X/Y軸行程(mm) | 1000X1000 |
玻璃臺尺寸(mm) | 1110X1020 |
Z軸運動行程 | 180 mm |
X/Y軸最大速度 | 350 mm/s |
光學(xué)系統(tǒng) | |
物 鏡 | 美國NAVITAR ,倍率 0.7X-4.5X |
光 源 | 表面光源- LED表面環(huán)行光源, 底光源-LED新型直線光源 |
光學(xué)尺解析度 | 0.5μm |
X\Y示值誤差 | (4+L/200)μm |
攝像機 | SONY 彩色1/2?CCD攝像機 |
視頻倍率 | 23.5X?148X |
物方視場 | 11.1mm?1.7mm(物方視場為對角線的長度) |