| X軸(驅(qū)動部) | 測量范圍:100mm |
| 分辨率:0.05μm | |
| 檢測方法:線性編輯器 | |
| 驅(qū)動速度:0-40mm/s | |
| 測量速度:0.02-5mm/s | |
| 移動方向:向后 | |
| 直線度:0.15μm/100mm | |
| Z2軸(立柱) | 類型:手動操作或電驅(qū)動 |
| 垂直移動:350mm或550mm | |
| 分辨率:1μm | |
| 檢測方法:旋轉(zhuǎn)編碼器 | |
| 驅(qū)動速度:0-20mm/s *僅適于電驅(qū)動型 | |
| 檢測器 | 范圍/分辨率:800μm/0.01μm,80μm/0.001μm,8μm/0.0001μm |
| 檢測方法:無軌/有軌測量 | |
| 測力:4mN或0.75mN(低測力型) | |
| 測針針尖:金剛石、90°/5μmR(60°/2μmR:低測力型) | |
| 導(dǎo)頭曲率半徑:40mm | |
| 檢測方法:差動電感方式 | |
| 控制器 | 顯示:7.5英寸帶背光的TFT彩顯 |
| 打印機(jī):內(nèi)置熱敏打印機(jī) | |
| 放大倍率:水平:×10至×500,000,自動 垂直:×0.5至10,000,自動 | |
| 驅(qū)動裝置的控制 | 通過操縱桿手動手柄的操作 |