北京中儀提供四探針測試儀使用方法，滿足你不同地點(diǎn)的使用需求。
·數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備
·該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，專用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器
·儀器由主機(jī)、測試臺、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計(jì)算機(jī)控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測試結(jié)果
·儀器采用了最新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)
·本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試
| 電阻率 | 0.001～200Ω.cm(可擴(kuò)展) |
| 方塊電阻 | 0.01～2000Ω/□(可擴(kuò)展) |
| 電導(dǎo)率 | 0.005～1000 s/cm |
| 電阻 | 0.001～200Ω.cm |
| 可測晶片直徑小尺寸 | 140mmX150mm配S-2A型測試臺 |
| 可測晶片直徑標(biāo)準(zhǔn)尺寸 | 200mmX200mm配S-2B型測試臺 |
| 可測晶片直徑標(biāo)準(zhǔn)尺寸 | 400mmX500mm配S-2C型測試臺 |
| 恒流源電流量程 | 0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續(xù)可調(diào) |
| 數(shù)字電壓表量程及表示形式 | 000.00～199.99mV，分辨力：10μV |
| 輸入阻抗 | >1000MΩ |
| 精度 | ±0.1% |
| 顯示 | 四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示，極性、超量程自動(dòng)顯示 |
| 四探針探頭基本指標(biāo)間距 | 1±0.01mm |
| 針間絕緣電阻 | ≥1000MΩ |
| 機(jī)械游移率 | ≤0.3% |
| 探針 | 碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm |
| 探針壓力 | 5～16 牛頓(總力),四探針探頭應(yīng)用參數(shù)(見探頭附帶的合格證) |
| 模擬電阻測量相對誤差( 按JJG508-87進(jìn)行) | 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 |
| 整機(jī)測量最大相對誤差 (用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試) | ≤±5% |
| 整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 | ≤5% |
| 計(jì)算機(jī)通訊接口 | 并口 |
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