OPTOTOP是一套快捷高效的,非接觸式光學(xué)表面測量系統(tǒng)。它能在納米,微米,及大尺寸下進(jìn)行光學(xué)形貌及幾何測量。
優(yōu)勢 :
1.方便舒適的操作
2. 快速的數(shù)據(jù)提取
3. 多樣性測量方法,完全的交互式操作
4. 2D形態(tài)下的微粗糙度值(表面粗糙及缺陷)
5. 特定區(qū)域內(nèi),具方向性的粗糙度值(組織,紋理分析)
6.2D,3D以及深度剖面的形貌描述
應(yīng)用范圍:
1.光滑面,粗糙面,曲面的表面粗糙度分析
2.大尺寸計算,微幾何形態(tài)描述,及平坦度控制
3.表面控制,例如:滾筒模
4.應(yīng)用領(lǐng)域包括:研發(fā),品質(zhì)生產(chǎn)控制,驗收檢驗,及損壞分析
技術(shù)規(guī)格:
傳感器:彩色共焦 最大測量頻率:100HZ/300HZ (1kHZ)
測量范圍Z:300mm/1mm/2mm 最大行程XY:60mmⅹ60mm
解析度Z:12nm/25nm/75nm 速率:0.1 bis 10mm/s
側(cè)向解析度:1.55mm/2mm/4mm 平臺尺寸:165ⅹ165mm
測量長度:11mm/12.7mm/16.4mm 電腦,軟件,顯示器:LCD 17〞
OPTOTOP非接觸式表面光度儀
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