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SE400adv多角度激光橢偏儀激光橢偏儀SE 400advanced

　　多角度激光橢偏儀 SE400advanced使用632.8nm波長HeNe激光器，對測量薄膜厚度，折射率和吸收系數(shù)有非常出色的精度。 SE400advanced能夠分析單層膜，多層膜和大塊材料（基底）
? 超高精度和穩(wěn)定性，來源于高穩(wěn)定激光光源、溫度穩(wěn)定補償器設(shè)置、起偏器跟蹤和超低噪聲探測器
? 高精度樣品校準(zhǔn)，使用光學(xué)自動對準(zhǔn)鏡和顯微鏡
? 快速簡易測量，可選擇不同的應(yīng)用模型和入射角度
? 多角度測量，可完全支持復(fù)雜應(yīng)用和精確厚度
? 全面的預(yù)設(shè)應(yīng)用，包含微電子、光電、磁存儲、生命科學(xué)等領(lǐng)域

規(guī)格:
? 激光波長632.8 nm
? 150 mm (z-tilt) 載物臺
? 入射角度可調(diào)，步進(jìn)5o
? 自動對準(zhǔn)鏡/顯微鏡，用于樣品校準(zhǔn)
? Small footprint
? 以太網(wǎng)接口連接到PC

SE 400advanced軟件特征:
? 預(yù)先定義應(yīng)用
? 多角度測量
? 廣泛的材料數(shù)據(jù)庫
? 擬合狀況的圖形反饋
? 支持多種語言
　　SE400advanced被設(shè)計用來將橢偏儀的測量能力發(fā)揮到極限，高穩(wěn)定相位補償器，電腦控制穩(wěn)定頻率旋轉(zhuǎn)分析器，自動調(diào)整起偏器，The core concept of the SE400advanced with highly phase stabilized compensator, computer controlled frequency stabilized rotating analyzer and automated polarizer optimum positioning allows for the measurement of ultra thin films and surface roughness on almost any kind of absorbing or transparent substrate with a flat, mirror - like surface.

ψ, Δ精度， 90° 入射角:	δ(ψ)=0.002°, δ(Δ)=0.002°
長時穩(wěn)定性2):	δ(ψ)=±0.1°, δ(Δ)=±0.1°
膜厚精度1)	0.1 ? for 100 nm SiO2 on Si
折射率精度1)	5×10-4 for 100 nm SiO2 on Si

1) 精度定義為30次測量的標(biāo)準(zhǔn)差
2) 長時穩(wěn)定性定義為24小時內(nèi)90°位置測量的偏差

選項
　　?微細(xì)光斑選項，光斑直徑30微米
　　?手動x-y方向移動載物臺，行程150 mm
　　?地貌圖選項 (x-y方向, 最大行程200 mm, 帶有真空吸附)
　　?攝象頭選項，用于取代目鏡進(jìn)行樣品對準(zhǔn)
　　?液體膜測量單元
　　?自動對焦選項，同地貌圖選項結(jié)合
　　?反射式膜厚儀FTPadvanced，光斑直徑80微米
　　?雙波長激光 (405 nm 或1550 nm)
　　?SIMULATION軟件　
　　?針對粗糙表面硅太陽能電池的測量裝置