參數(shù)測試系統(tǒng)主要特點及優(yōu)點 |
單一平臺上的晶圓級直流/射頻測試
專為最小化測試費用而設計
應用廣泛
基于SECS/GEM的300mm和200mm自動化 |
S680專為高靈敏度高速測試而設計。測量儀器位于系統(tǒng)機柜內(nèi),而前置放大器位于測試頭。前置放大器用于在探針后數(shù)厘米內(nèi)放大低電平信號,再將放大了的信號通過電纜傳入系統(tǒng)機柜內(nèi)的測量儀器。這一方法消除了一般電纜和開關矩陣效應帶來的速度和靈敏度損失。一個單一類型的SMU具有寬動態(tài)量程。外部儀器可以使用八條通用管路直接連接到探針。 |